如何輸入ZYGO量測資料到Zemax OpticStudio


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摘要:這篇文章示範了如何輸入ZYGO的量測資料到Zemax OpticStudio中的Grid Sag與Grid Phase。
原文作者:永田信一さん
原文發布時間:Dec 7, 2010

閱讀本篇文章之前,請先瞭解Grid Sag以及Grid Phase的基礎,您可以透過以下兩篇本站翻譯文章來進一步了解:
Grid Sag的資料輸入方式
Grid Phase的資料輸入方式

那麼首先,根據下面網站,ZYGO的量測資料是可以用Zemax資料形式輸出的。
http://www.zygo.com/?sup=/resource/faqs.cgi?id=140
輸出資料的附檔名為
.zxgrd
因此我們將他轉換為
.DAT
轉換後的檔案,請放置到 “\Document\Zemax/Objects\Grid Files\” 之下。

下面是檔案開頭部分的截圖,可以看到檔案確實變成Grid Sag面的輸入格式了。
X, Y 資料點的總數為723點,因為資料間距為0.01344,可得知這份資料的直徑為9.72 mm。第一行最後的旗標 (flag) 被設定為0,這代表單位是 mm。
http://forum.zemax.com/Uploads/Images/75351754-648a-443e-916b-c998.png

不過,如果資料是量測穿透波前的話,這個資料就必須以相位資料來處理。Zemax的Grid Phase單位是徑度,因此必須要將量測資料做一個換算,換算公式如下:
Zemax單位 (徑度) = ZYGO量測單位 (mm) x 2π / (量測波長)
舉例來說,如果量測波長為0.0006328 mm的情況,就變成:
Zemax單位 (徑度) = ZYGO量測單位 (mm) x 2π / 0.0006328
= 9924 x (ZYGO量測單位)

現在請打開Zemax,設定 “System Explorer > Aperture > Aperture Value” 為9.5,
http://forum.zemax.com/Uploads/Images/423b1a0c-9091-4167-a357-244d.png

然後將光欄面的型態改變為「Grid Phase」。
依照前述Grid Phase資料輸入說明文章的方式,把ZYGO量測資料輸入。
Grid Phase的Diffraction order則輸入上面的換算值。
下面是鏡頭數據編輯器的畫面:


設定系統分析型態為 “Afocal Image Space” ,如下圖。
http://forum.zemax.com/Uploads/Images/5033b2ac-c19c-45e5-86a0-18fc.png

上面步驟完成後,欲確認結果的話,請打開 “Ribbon工具列 > Analyze > Wavefront > Interferogram” ,並且設定如下:


結果應該會像下面這樣,理論上「看到的輸出結果與量測資料完全一樣」。


本文章所使用的 “test.DAT” 有提供下載。
感謝Canon Marketing Japan株式会社所協力提供本文章所使用的演示資料。


Attachments
test.zip (40 views, 3.00 MB)
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